ความแม่นยำของตำแหน่ง∶± 2μm สำหรับขนาดชิ้นงานอายุการใช้งานฐานแม่พิมพ์: 500,000-3,000,000 ภาพเส้นผ่านศูนย์กลางของช่วงรูไมโคร: 0.02 มม. ~ 2.0 มมความอดทนของเส้นเลือดฝอย: ± 0.001 มม